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  半導體產業
  FPD 產業
  LED產業
  太陽能產業
  銅箔產業
  PCB產業
  其他傳產業
 

技術應用-線上濃度量測:

半導體相關產業:

  • BOE (HF+NH4F)
  • CMP Slurry (H2O2)
  • Cu-etch:H2SO4/H2O2/Cu
  • Al-etch:HNO3/HOAc/H3PO4
  • DHF
  • NH4OH
  • ECP-Clean
  • CX-100
  • TMAH
  • IPA
  • 其他單酸、混酸、有機類等濃度管理系統
   

面板相關產業:

  • AL-etch:HNO3/CH3COOH/H3PO4
  • Cu-etch:H2SO4/H2O2/Cu
  • TMAH+PR+CO3
  • ITO- Oxalic Acid
  • BHF:HF+NH4F
  • KOH
  • 其他單酸、混酸、有機類等濃度管理系統
   

太陽能相關產業:

  • IPA+KOH
  • HNO3+HF+H2SiF6
  • 其他單酸、混酸、有機類等濃度管理系統
   

LED相關產業:

  • 各種單酸、混酸、有機類等類濃度管理系統
   

電路板/銅箔/鋁陽極處理產業:

  • Cu/H2SO4
  • Silane
  • Al/H2SO4
  • SPS微蝕劑 (Cu/SPS/H2SO4)
  • H2O2微蝕劑 (Cu/H2O2/H2SO4)
  • 氯化亞錫含量(SnCl2·2H2O)
   
 

河/海/水庫之疏浚產業:

  • 疏浚泥沙之密度量測


食品飲料污水處理等產業:

  • COD量測
   

技術應用-濃度控制及資料儲存系統:

  • 運用PLC和其他先進技術,可將製程藥液濃度經由補酸或補水方式控制於設定範圍內。
  • 先進之補酸和補水技術,可準確計算需補量,並精確填補。
  • 可累計單次或多次之補酸和補水量並顯示於電腦螢幕上。
  • 藥液濃度經由最佳數學回歸模型(BFRM)運算,可得到最準確之濃度值。
  • 資料儲存系統,高階程式語言撰寫,格式完備,製程工程師可得到所需之參數,資料可下載至USB或上傳至SCADA系統。
  • 適用於2或4個蝕刻槽體,一對多機台。
  • 系統讀值穩定,保養容易,無消耗品,運作成本低。
   

超音波線上濃度分析儀
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