技術應用-線上濃度量測:
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半導體相關產業:
- BOE (HF+NH4F)
- CMP Slurry (H2O2)
- Cu-etch:H2SO4/H2O2/Cu
- Al-etch:HNO3/HOAc/H3PO4
- DHF
- NH4OH
- ECP-Clean
- CX-100
- TMAH
- IPA
- 其他單酸、混酸、有機類等濃度管理系統
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面板相關產業:
- AL-etch:HNO3/CH3COOH/H3PO4
- Cu-etch:H2SO4/H2O2/Cu
- TMAH+PR+CO3
- ITO- Oxalic Acid
- BHF:HF+NH4F
- KOH
- 其他單酸、混酸、有機類等濃度管理系統
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太陽能相關產業:
- IPA+KOH
- HNO3+HF+H2SiF6
- 其他單酸、混酸、有機類等濃度管理系統
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LED相關產業:
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電路板/銅箔/鋁陽極處理產業:
- Cu/H2SO4
- Silane
- Al/H2SO4
- SPS微蝕劑 (Cu/SPS/H2SO4)
- H2O2微蝕劑 (Cu/H2O2/H2SO4)
- 氯化亞錫含量(SnCl2·2H2O)
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河/海/水庫之疏浚產業:
食品飲料污水處理等產業:
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技術應用-濃度控制及資料儲存系統: |
- 運用PLC和其他先進技術,可將製程藥液濃度經由補酸或補水方式控制於設定範圍內。
- 先進之補酸和補水技術,可準確計算需補量,並精確填補。
- 可累計單次或多次之補酸和補水量並顯示於電腦螢幕上。
- 藥液濃度經由最佳數學回歸模型(BFRM)運算,可得到最準確之濃度值。
- 資料儲存系統,高階程式語言撰寫,格式完備,製程工程師可得到所需之參數,資料可下載至USB或上傳至SCADA系統。
- 適用於2或4個蝕刻槽體,一對多機台。
- 系統讀值穩定,保養容易,無消耗品,運作成本低。
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