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 > 產品資訊
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線上自動滴定儀
(日本三菱化學PAT-2300進化版，通過SEMI-S22半導體製造設備電氣設計安全基準認證)
Model：PAT-2800線上自動滴定分析儀提供各種產業之濕化學工程師一個快速和準確的濃度分析儀器，來做為藥液之濃度分析和管理；本儀器具備有藥液之濃度即時線上量測和內建控酸軟體來獨立完成量測和補液之功能，並可以搭配UV/Vis/NIR等光學模組或比重(S.G)、pH、導電度計等來做多成份之濃度分析，並可將結果傳給主機台或直接上傳至CIM做後續資訊之整合。
基本應用：
- Model：PAT-2800-H2O2可做為CMP之Slurry研磨液之H2O2濃度分析和管理。
- Model：PAT-2800-BOE可做為高溫BOE酸 (HF/NH4F)之濃度分析和管理。
- Model：PAT-2800- Cu可做為Cu酸 Micro-etch (H2O2, H2SO4/pH, Cu) 之濃度分析和管理。
- Model：PAT-2800-SPS 可做為SPS Micro-etch (SPS, H2SO4, Cu) 之濃度分析和管理。
- Model：PAT-2800-AL可做為AL酸 Micro-etch(HNO3/HOAc/H3PO4)之濃度分析和管理。
- Model：PAT-2800-TMAH可做為廠務/製程端或放流水之低濃度TMAH之分析和管理。
- Model：PAT-2800-STR可做為去光阻液之MEA、PR、H2O之濃度分析和管理。
- 其他溼化學分析如HCL+KMnO4等之各種應用。
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索取目錄 |
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ITO草酸線上濃度分析儀
Model:PT2800-ITO草酸濃度線上分析儀提供面板或半導體等相關產業於ITO蝕刻過程中之草酸濃度之及時監控；此設備亦可應用於其他單酸之濃度分析和管理，如DHF, KOH ,HCL,H2SO4等。 |
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TMAH+PR+CO3線上濃度分析儀
Model:B33提供面板或半導體等相關產業於TMAH顯影過程中之TMAH、PR和TMA-CO3濃度之及時監控；此設備亦可應用於雙成份混酸之濃度分析和管理，如HCL+FeCL3.etc. |
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Al/H2SO4線上濃度分析儀
Model:B32提供鋁陽極處理產業於鋁材處理過程中之Al和H2SO4濃度之及時監控。
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Cu/H2SO4線上濃度分析儀
Model:9580提供PCB和銅箔產業於電鍍過程中之Cu 和H2SO4濃度之及時監控。
COD線上濃度分析儀
Model:9585 COD分析儀，可用於食品和啤酒等釀造產業。
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Slurry線上密度分析儀
Model: SDM系列利用音波原理來測量河/海/水庫之疏浚泥沙密度，以及其他面板產業玻璃研磨之Slurry 密度，沒有傳統密度儀之輻射線問題。
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超音波線上濃度分析儀
專業品牌 |
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| 巨鈦科技股份有限公司,Titech Analytical Co., Ltd., Wet-Bench化學線上濃度分析儀，客製化自動滴定儀專業廠商 |
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